Bombas semiconductores

Bombas semiconductores

Las bombas IWAKI para esta industria están instaladas por todo el mundo y son muy apreciadas. La gama incluye bombas e fuelles, con amortiguador de impulso y bombas dosificadoras. IWAKI está especializada en las siguientes gamas de aplicaciones: Procesos de Wet-Bench, sistemas de suministro resist-saving, así como aplicaciones con incrementos de slurry.

Bombas semiconductores Características

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Serie Capacidad máx. Presión de descarga máx. (bar) Frecuencia de elevación max (spm)
FS FS 100 l/min 5 240
FW/-H FW/-H 80 l/min 4.5 120
FA FA 40 l/min 4.5 150
CFD CFD 240 ml/min 0.5 30
  • Categoría:
  • Capacidad de caudal l/min (50Hz)